1、光学环境真空微腔探针台 测试腔、控温及加热系统

测试夹具要求：可实现XYZ移动；光学环境真空微腔探针台

测试腔：同时满足静态/动态测试，304不锈钢材质，可在紫外灯下保证气密性测试；

测试样品数：同时测试8个样品，可进行频率-阻抗测试、插指电极和场效应管测试；

测量温度：室温---300 ℃

控温精度：±1 ℃

显示精度：±0.1 ℃

测温传感器：PT100

升温斜率：1-10 ℃/min

通讯类型：RS485

加热功率：500 W

测试腔容积<2 L

2、探针台和气体配比器

流量计数量：5个，（根据客户需求标定 气体  量程    进气口和出气口）

流量规格：500 ml/min

精准度：±1.0% S.P.(≥30% F.S.)±0.30% F.S.(＜30% F.S.)

重复精度：±0.2% F.S

响应时间：≤1 s

密封形式：金属密封

接头尺寸：6 mm

漏率：＜1×10-8 Pa·m3/s

通讯接口：RS485

4、样品12*10mm，探针可移动范围x-y 1-10mm，z轴3-5mm

5、每个样品上方一个紫外灯，四个灯连成灯串外置一个可控开关。紫外灯可更换，样品上方2cm。

6、加热板上有个镀金衬底，用来连接栅极。

         目前公司已研发生产产品十多个系列几十款产品，产品囊括实验电炉   CVD供气系统   等离子清洗机   小型离子溅射仪   小型蒸镀仪  石英管真空封口   半导体检测等。 主要适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究，广销于各大院校，及材料研究所。

     公司与国内高校，科研院所有多层次的合作关系，建有开放实验室，相关领域的教授、高级工程师、博士参与公司产品的研究和开发。我们秉承公司的发展理念，依靠严谨的技术研发能力，科学合理的生产工艺，精益求精的制造要求，全心全意做好产品质量和服务工作，科探仪器时刻怀着一颗真诚的心期待与您的合作。