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产品简介
小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
| 品牌 | 郑科探 | 溅射气体 | 气体 |
|---|---|---|---|
| 样品台尺寸 | 50mm | 控制方式 | 触摸屏控制 |
| 样品仓尺寸 | 0mm | 靶材尺寸 | 0mm |
| 靶材材质 | 详询 | 价格区间 | 面议 |
| 产地类别 | 国产 | 应用领域 | 电子 |
小型台面式热蒸发镀膜仪是一款小型台式蒸发功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽小功能齐全，配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及电动挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金属进行均匀蒸发沉积，真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄膜，可制备各种金属薄膜和有机物薄膜。
小型台面式热蒸发镀膜仪技术参数：
| 控温方式 | 数字式功率调整器 |
| 镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
| 大功率 | ≤800W |
| 大输出电压电流 | 电压≤10V 电流≤80A |
| 真空度 | 机械泵 ≤5Pa（5分钟） 分子泵≤5*10^-3Pa |
| 挡板类型 | 电控 |
| 样品室 | 石英腔体φ160mm x 160mm |
| 样品台 | 可旋转φ62 （大可安装φ50基底） |
| 样品台转速 | 8转/分钟 |
| 样品热源调节距离 | 70-140mm |
| 蒸发温度调节 | ≤1600℃ |
| 蒸发坩埚容积 | 3ML |
| 真空法兰 | KF25抽气口 KF25扩展口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |
| 可选配扩展 | 1 膜厚在线测试 2 分子泵
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