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小型蒸镀仪 郑州科探

产品简介

小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD 电阻式热蒸发镀膜机是郑州科探仪器设备有限公司生产,台式设计、软件自动操控、高性价比,非常适合实验室科研使用。 通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及电动挡板功能。

产品型号:KT-Z1650CVD
更新时间:2024-03-27
厂商性质:生产厂家
访问量:1273
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品牌郑科探产地类别国产
应用领域化工,电子

小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD是我公司专为科研院所及实验室用户群体设计开发的一款小型高真空蒸发镀膜系统。采用大抽速分子泵准无油高真空系统,机架电控一体化设计,整体布局紧凑合理,充分考虑人机工程学的倾斜操控面板和可直观观察蒸发状态的玻璃真空室结构相得益彰。两组/三组蒸发源可兼容金属、有机物蒸发。广泛应用于高校、科研院所制备功能薄膜、蒸镀电极、扫描电镜制样等,特别适合太阳能电池、有机ELLED显示管研究与开发领域。

主要特点/优势:

    玻璃钟罩真空腔室,最直观的蒸发状态和薄膜沉积现象观察;

    复合分子泵和直联旋片泵,大抽速准无油真空系统(分子泵抽速≥400L/S);

    两组水冷式蒸发电极,可长时间稳定工作,兼容金属材料与有机材料的蒸发源设计;

    专业真空蒸发电源,数显工作电流和电压,恒流输出;

    可定制一体化高精度刻蚀掩膜板;

    衬底可选择加热或水冷,源基距≥300mm

    可调速旋转靶台使薄膜更均匀

    可沉积金属(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金属、化合物(MoO3, LiF等)及有机物材料,可拓展沉积单层膜、多层膜及混合膜;

 7寸显示器定时定点调节电流,达到控制功率效果

 具有记忆储存功能,直接调出已储存的数据进行镀膜达到同样工艺效果

 配置了靶台挡板,可手动调节或自动调节挡板,及时遮挡样品,保证样品效果

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小型蒸镀仪 郑州科探KT-Z1650CVD技术资料

控制方式

7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

加热方式

数字式功率调整器

镀膜功能

0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

最大功率

1200W

最大输出电压电流

电压≤12V  电流≤120A

真空度

机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤10^-3Pa

挡板类型

电控

真空腔室

石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm

样品台

可旋转φ62  (最大可安装φ50基底)

样品台转速

8/分钟

样品蒸发源调节距离

70-140mm

蒸发温度调节

1800

支持蒸发坩埚类型

钨丝蓝  带坩埚钨丝蓝  钨舟  碳绳  

预留真空接口

KF25抽气口  KF16真空计接口  KF16放气口 6mm卡套进气口

可选配扩展

机械真空泵(可抽真空 5分钟<5Pa  

数显真空计(测量范围大气压到0.1Pa

分子泵机组(可抽真空20分钟≤5x10-3Pa


技术支持&服务:

1. 技术支持:在合同签订之前,我们的专业工程师会在充分了解客户需求的前提下,为客户做出*的选型和方案设计,使客户充分了解并理解产品技术指标、性能用途、使用场合、安全注意事项等,以帮助客户做出正确的选择。

2. 安装与培训:在产品使用前,我们会派专业工程师为您提供现场技术支持、培训及演示服务。

3. 产品质保:我们对产品提供12个月的质保期,在质保期内发生设备或配件损坏由公司负责赔偿或免费维修。(耗材和易损件除外)

4. 终身维护:我们对提供的产品提供终身服务,对于超过质保期限的维修、维护仅收取材料费,免除一切人工费用。




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