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质量流量计外置式气体配比器

产品简介

质量流量计外置式气体配比器KT-C4ZS,采用质量流量计,316金属管道,触摸屏控制,5段可编程序(时间-流量随意设置定值)

产品型号:KT-C4ZS
更新时间:2024-03-29
厂商性质:生产厂家
访问量:1360
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品牌郑科探价格区间面议
产品种类其他介质分类气体
产地类别国产应用领域综合

质量流量计外置式气体配比器KT-C4ZS按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加

该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。

配置1质量流量

       2单向阀单向出气

      3触摸屏控制,5段可编程序(时间-流量随意设置定值)

      4采用316金属管道耐腐蚀性强

用途1半导体制造行业中气体流量控制

       2各种真空镀膜设备

       3特种材料表面处理

       5混合配气系统

       6环境监测与分析设备

质量流量计外置式气体配比器KT-C4ZS资料                                                                                    ;

产品型号

KT-PCS4Z

KT-C4ZS

 气体通道

41

41

可根据需求定制

产品类型

高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制

可选量程

20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)

产品精度

高精度型±1%F.S

普通型±1%F.S

重复精度

高精度型±0.2% F.S

普通型±0.2% F.S

线性

高精度型±0.5% F.S.

普通型±1% F.S.

响应时间

高精度型≤2sec

普通型≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

供电电源

~85-265VAC 50/60Hz

最大功耗

40W

进气口压

0.6MPa

连接管道

316不锈钢管道

截止阀类型

电磁阀

单向阀开启压力

0.02Mpa

压力显示量程

0-0.6Mpa

控制方式

7寸触摸屏智能调节

时间设定

0-32000分钟

清洗功能

一键清洗

程序控制

5段可编程序(时间-流量随意设定值)

压力显示

有(出气压力检测且有压力上限设置过压切断总输出气路)

气体混合罐

有(内置不锈钢扰流板气体混合均匀)

气体加热

无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温至350℃可调)

流量累计

有(累计当前运行总流量)

可选进出气口接头形式

3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头

抗电磁干扰

外形尺寸

550x380x400mm

重量

18KG~20KG


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