气体液体配比混合 流量精确控制主要用于气体液体混合配比,液体加热产生气体并用其他气体做载气,为等离子沉积cvd沉积或其他特定设备提供气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加， 该气体配比器也可以选择多种液体和气体混合。详情请联系客服人员沟通

液体气体混合配比器 用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。 它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等